En este trabajo se desarrolla una investigación sobre anillos resonadores con guías de ondas formadas por un apilado de películas delgadas de silicio, dióxido de silicio, titanato de bario y nitruro de silicio, donde los dos últimos forman el núcleo de una guía de onda hibrida. Se utilizan las propiedades electroópticas del BaTiO_3 para alterar las características ópticas de la guía de onda hibrida y permitir el filtrado de señales con longitudes de onda ≈± 0.020 μm respecto a la longitud de onda de diseño λ= 1.253 μm. Se presenta una metodología de diseño de micro anillos resonadores, al igual que una descripción detallada de los procesos de sintonización. También se presenta una investigación sobre la síntesis de películas delgadas de titanato de bario crecidas por pulverización catódica y ablación por láser pulsado. En esta se muestran los efectos de diferentes tiempos y temperaturas de recocido post depósito sobre las películas delgadas, donde los mejores resultados se obtuvieron para recocidos a 800℃ por dos horas.

This thesis is centered on ring resonators formed by hybrid waveguides of barium titanate and silicon nitrite over a platform of silicon dioxide over silicon. Due to the Pockels effect present in BaTiO_3 it is possible to change the optical properties of the waveguide, thus tuning the ring resonator in such way that the filter properties are shifted within a range of ± 0.020 μm around the designed wavelength λ=1.253 μm. A detailed methodology for the design of microring resonators was developed, as well as a tuning methodology for such devices. Thin films of barium titanate were grown on Si+SiO_2 wafers by sputtering and pulsed laser deposition, in order to study these growth methods as well as post-deposition annealing. The higher refractive index of the barium titanate thin films were presented when annealed at 800 ℃ for two hours.